Плазмохимические процессы представляют собой химические реакции, протекающие в плазме — частично или полностью ионизированном газе, содержащем электроны, ионы, нейтральные атомы и молекулы, а также возбуждённые состояния частиц. Основное отличие таких процессов от обычной газовой химии заключается в высокой концентрации активных частиц и значительной энергии электронов, которая может быть несопоставимо выше средней тепловой энергии газа.
Энергетическая среда плазмы позволяет инициировать реакции, которые в обычных условиях протекают крайне медленно или вовсе невозможны. Это открывает возможности для синтеза нестабильных соединений, разложения трудноразлагаемых веществ и создания уникальных материалов.
Холодкая плазма характеризуется высокой энергией электронов при относительно низкой температуре ионизированного газа. Она применяется для обработки термочувствительных материалов, очистки поверхностей и химического синтеза при низких температурах.
Тепловая плазма обладает высокой температурой всего газового потока, что обеспечивает почти полное ионизирование частиц. Такие условия используются для плавки, переработки металлов, газификации топлива и разрушения опасных химических соединений.
Электронно-ионная плотность и температура электронов являются ключевыми параметрами плазмы. Высокая температура электронов позволяет преодолевать активационные барьеры химических реакций, а концентрация активных частиц определяет скорость и эффективность процесса.
Реакции в плазме могут происходить по нескольким основным механизмам:
Газофазный синтез в плазме используется для получения наночастиц, тонких пленок и керамических материалов. Плазма позволяет контролировать размер, морфологию и состав образующихся частиц.
Поверхностная обработка — плазма используется для активации, очистки и модификации поверхности материалов, улучшая адгезию, коррозионную стойкость и функциональные свойства.
Плазмохимическое осаждение (PECVD) применяется для формирования тонких пленок сложных соединений, таких как оксиды, нитриды и карбиды, с высокой степенью контроля состава и структуры.
Плазменное разложение позволяет разрушать органические и неорганические соединения, включая токсичные и трудноразлагаемые вещества, без использования высоких температур.
Плазмохимические процессы формируют новое направление в химии и материаловедении, сочетая преимущества термодинамически и кинетически нестандартных условий с возможностью промышленного масштабирования и точного управления свойствами материалов.